[发明专利]一种自适应调节腔长的多表面干涉测量方法

摘要

本发明公开了一种自适应调节腔长的多表面干涉测量方法，通过对可移动夹具、运动系统和和导轨系统进行设计，使得被测件通过本发明所设计的调整架进行夹持时，一方面通过夹具等部件可以实现被测件的夹紧，另一方面通过运动系统和导轨系统对被测件的腔长进行自适应调整，准确得到被测件腔长值。硬件部分主要包括：可移动夹具、运动系统和导轨系统。测量算法实现部分包括输入的写入、所需腔长值的计算和位置的移动、干涉图的采集和初始相位的解调。能够实现对多表面被测件的各表面一次性测量，无需涂抹消光材料，并可以自适应移动腔长位置，进一步降低测量成本。