[发明专利]一种微小物体尺寸检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 202110094703.5 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112902852A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 许永童;谢勇;马路明;黄春志;田敏 | 申请（专利权）人： | 上海兰宝传感科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 孟旭彤 |
| 地址： | 201404 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微小物体尺寸检测装置及检测方法，该检测装置包括：激光发射器用于发射平行光束；接收器，具有感光阵列，用于接收平行光束经过被测物体后形成的衍射图像；夹具，设置在激光发射器以及接收器之间，用于夹持所述被测物体；间距调节机构，分别与所述接收器以及所述夹具连接，用于调节感光阵列与被测物体的间距；控制模块，分别与所述接收器以及所述间距调节机构电性连接，用于接收所述感光阵列接收的衍射图像并控制所述间距调节机构，以使得衍射条纹间距符合要求。该检测装置通过省去现有技术中的透镜，并采用自动的间距调节方式，使得不同尺寸的被测物体均可产生分辨率较高的衍射图像，提高了检测精度和检测范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微小 物体 尺寸 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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