[发明专利]一种高精度的数字散斑干涉相位定量测量方法有效

专利信息
申请号: 202110069385.7 申请日: 2021-01-19
公开(公告)号: CN112797917B 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 严利平;唐信永;黄柳 申请(专利权)人: 浙江理工大学
主分类号: G01B11/25 分类号: G01B11/25
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 林超
地址: 310018 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种基于模糊理论的高精度数字散斑干涉相位测量方法。获取待测物变形前后的散斑干涉图,散斑干涉图处理得包裹相位图;滤波降噪后计算获得可靠度图;识别包裹相位图中的残差点,计算所有残差点对应的可靠度的平均值和可靠度图的标准差,据此建立隶属度函数,并使用隶属度函数对可靠度图进行模糊归类得隶属度矩阵;将隶属度矩阵作为可靠度图的权重进行加权平均获得掩膜阈值;利用掩膜阈值对可靠度图二值化得权重矩阵,并将权重矩阵作为权值迭代求解获得连续相位图,呈现待测物的变形量。本发明解决了可靠度掩膜中阈值选取的问题,能够根据输入包裹相位自适应掩膜阈值,提高了相位测量的效率和精度。
搜索关键词: 一种 高精度 数字 干涉 相位 定量 测量方法
【主权项】:
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