[发明专利]一种高精度的数字散斑干涉相位定量测量方法有效
申请号: | 202110069385.7 | 申请日: | 2021-01-19 |
公开(公告)号: | CN112797917B | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 严利平;唐信永;黄柳 | 申请(专利权)人: | 浙江理工大学 |
主分类号: | G01B11/25 | 分类号: | G01B11/25 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林超 |
地址: | 310018 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于模糊理论的高精度数字散斑干涉相位测量方法。获取待测物变形前后的散斑干涉图,散斑干涉图处理得包裹相位图;滤波降噪后计算获得可靠度图;识别包裹相位图中的残差点,计算所有残差点对应的可靠度的平均值和可靠度图的标准差,据此建立隶属度函数,并使用隶属度函数对可靠度图进行模糊归类得隶属度矩阵;将隶属度矩阵作为可靠度图的权重进行加权平均获得掩膜阈值;利用掩膜阈值对可靠度图二值化得权重矩阵,并将权重矩阵作为权值迭代求解获得连续相位图,呈现待测物的变形量。本发明解决了可靠度掩膜中阈值选取的问题,能够根据输入包裹相位自适应掩膜阈值,提高了相位测量的效率和精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 高精度 数字 干涉 相位 定量 测量方法 | ||
【主权项】:
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