[发明专利]高性能湿度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110053022.4 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN112881481A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 戴鑫;关若飞;陈贵东;毛海央 | 申请（专利权）人： | 江苏创芯海微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01K13/00 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种湿度传感器及其制备方法，尤其是一种高性能湿度传感器及其制备方法。按照本发明提供的技术方案，所述高性能湿度传感器，包括衬底以及设置于所述衬底上的湿度测量单元，所述湿度测量单元包括湿敏电容以及与所述湿敏电容适配的感湿单元体；在所述衬底上还设置湿度测量单元加热体、参比电容以及测温单元体，其中，通过湿度测量单元加热体能对湿度测量单元加热，参比电容与湿敏电容具有相同的电容结构，通过测温单元体能测量湿度测量单元以及参比电容所处环境的环境温度值。本发明能进行温度校准，提高在湿度测量的精度和传感器的性能，同时还能加速水分蒸发，缩短响应时间，可适应湿度快速变换的工作环境。 | ||
| 搜索关键词： | 性能 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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