[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202110035225.0 | 申请日: | 2021-01-12 |
公开(公告)号: | CN113140615A | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 吉野学;清水和宏 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L27/088 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 得到不会使高耐压分离区域和高耐压MOS的RESURF耐压降低,能够对高耐压分离区域和高耐压MOS之间的泄漏电流进行抑制的半导体装置。高耐压分离区域具有在半导体基板(8)的主面形成的第2导电型的第1扩散层(9)。高耐压MOS具有在半导体基板(8)的主面形成的第2导电型的第2扩散层(10)。低电位侧电路区域具有在半导体基板(8)的主面形成的第1导电型的第3扩散层(11)。在第1扩散层(9)和第2扩散层(10)之间露出的半导体基板(8)的主面形成有杂质浓度比半导体基板(8)高的第1导电型的第4扩散层(12)。第4扩散层(12)从高电位侧电路区域向低电位侧电路区域延伸,该第4扩散层没有与第3扩散层(11)接触。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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