[发明专利]内表面具有特征结构的保持环有效
| 申请号： | 202110032638.3 | 申请日： | 2016-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN112621560B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 史蒂芬·马克·雷迪;西蒙·亚沃伯格;吴正勋;史蒂文·M·苏尼加;安德鲁·J·纳甘盖斯特;塞缪尔·楚-江·许;高塔姆·沙善·丹达瓦特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 保持环的一些实施方式具有内表面，所述内表面具有由多个平面刻面形成的第一部分和沿边界邻接第一部分的第二部分，并且保持环包括从外部朝内向下倾斜的截头圆锥形表面。保持环的一些实施方式具有锯齿状内表面或蜿蜒内表面和/或具有不同表面性质或不同倾斜角的交替区域的内表面。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 具有 特征 结构 保持 | ||
【主权项】：
暂无信息
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