[发明专利]带电粒子照射装置、系统、方法以及程序在审

专利信息
申请号: 202080085060.1 申请日: 2020-12-08
公开(公告)号: CN114830830A 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 高桥克幸;金天海;高木浩一;久保胜也;金田优希;山口晋一;日吉功;竹内隆一;永田秀海 申请(专利权)人: SHISHIDO静电气株式会社;国立大学法人岩手大学
主分类号: H05F3/04 分类号: H05F3/04
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 于丽
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种能使带电物迅速接近目标带电状态的带电粒子照射装置等。提供一种带电粒子照射装置,具备:照射前状态检测部,检测照射带电粒子之前的带电物的带电状态即照射前带电状态;学习完毕模型,输入带电物的带电状态和与用于控制对该带电物照射的带电粒子的控制量相关的控制参数,从而生成在所述控制参数下控制并照射带电粒子之后的带电物的带电状态即推定带电状态;推定带电状态生成部,向学习完毕模型输入照射前带电状态和多个控制参数,生成与照射前带电状态和多个控制参数对应的多个推定带电状态;选择部,从多个推定带电状态中选择与目标带电状态最接近的推定带电状态;以及照射部,基于与选择出的推定带电状态对应的控制参数来控制带电粒子并向带电物照射带电粒子。
搜索关键词: 带电 粒子 照射 装置 系统 方法 以及 程序
【主权项】:
暂无信息
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  • 王志豪;姜一波;段彬;汪思含 - 常州工学院
  • 2023-07-21 - 2023-09-12 - H05F3/04
  • 本发明公开了一种用于机械臂芯片封装和电路装配的CDM静电防护装置,机械臂的前端抓手机构或者后端滑轨机构中嵌入式地安装有静电防护装置,静电防护装置包括电介质模块、离子风枪,电介质模块的前端和后端均绝缘地嵌入于前端抓手机构或者后端滑轨机构中,离子风枪朝向等效电容的上极板出风。本发明通过采用非接触式的静电电荷去除装置,在避免静电放电损害芯片和电路的同时,也减少了因物理接触机械臂、芯片和电路产生的额外风险;可实时监测机械臂和芯片表面的静电电荷水平;可以与机械臂和芯片封装/电路装配系统集成;具有轻量化和紧凑性的特点,以适应机械臂和芯片封装/电路装配系统的空间限制。
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