[实用新型]一种长晶炉稳压供气装置有效
| 申请号： | 202022221472.3 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN213394635U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 吴殿瑞;李博;裴卫博 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F17C7/00 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 冯妙娜 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种长晶炉稳压供气装置，该长晶炉稳压供气装置，包括气源；与气源相连的主气管；多个连接于主气管上的支气管，每个支气管上设有第一减压稳压阀；稳压系统，所述稳压系统包括连接于气源和靠近气源的支气管之间的第一气瓶，所述第一气瓶设于主气管上，所述第一气瓶的进气管道上设有增压阀，所述第一气瓶的出气管道上设有第二减压稳压阀。该长晶炉稳压供气装置，可以在一根主管道尽量控制多台设备情况下，尽量降低成本，并尽量保证每一个设备之间气相稳定，减少设备之间的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长晶炉 稳压 供气 装置 | ||
【主权项】：
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