[实用新型]一种换热装置和单晶炉有效
申请号: | 202021876745.1 | 申请日: | 2020-09-01 |
公开(公告)号: | CN214244666U | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 杨登文;冉瑞应;杨东;党俊佳;贾祯;盛燕;金雪;罗忠武 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/22 | 分类号: | C30B15/22;C30B29/06;F28D21/00 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 赵娟 |
地址: | 750000 宁夏回族自治区银*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种换热装置和单晶炉,用于生长单晶硅棒,包括:换热筒,所述换热筒在靠近熔硅液面的一端设置有导流部,所述导流部的内壁与所述换热筒的中心轴成预设夹角,所述导流部的横截面积小于或等于所述换热筒的横截面积;所述导流部的内壁上设置有导流通道,所述导流通道从所述换热筒的内部向所述熔硅液面延伸,在本实用新型中,熔硅液面的结晶潜热散发的速度较快,可以为单晶硅棒营造良好的生长环境,使得单晶硅棒快速稳定生长,降低单晶硅棒的制备成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 装置 单晶炉 | ||
【主权项】:
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