[实用新型]一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置

摘要

本实用新型属于ICP技术领域，公开了一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置，包括氩气管，所述氩气管内设置有压缩氩气，所述氩气管上依次设置有减压阀和质量流量控制器，所述质量流量控制器位于减压阀的出气端。本方案通过在氩气管上安装质量流量控制器，从而质量流量控制器实时监测氩气管内的压缩氩气的流量，并将检测的气流数据反馈给ICP主控系统的上位机软件，同时ICP主控系统的上位机软件将设置的气流电压信号发送给气流保护系统，气流保护系统对比反馈数据和设置数据，如果差值超出安全阈值的范围，将直接发送指令关闭ICP设备的供电设备，避免由于气体在使用完毕或者气流不稳定的情况下影响测试数据，甚至损坏ICP设备。