[实用新型]三氯乙烯自动通源控制系统有效
| 申请号： | 202020975086.0 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN211786822U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 刘大力 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D27/02 | 分类号： | G05D27/02;F17D1/02;F17D1/00;F17D3/01;F17D5/00 |
| 代理公司： | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 唐维虎 |
| 地址： | 132000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供的三氯乙烯自动通源控制系统，涉及半导体制造技术领域。本申请通过对气路管道进行设计，采用多路输送管道共用同一套源温控制系统，同时借助于气路控制组件对多路输送管道进行状态控制，以使得采用同一套源温控制系统通过不同路输送管道为不同栋扩散炉提供三氯乙烯源液。上述方案，一方面只需一套源温控制系统即可实现多栋扩散炉的三氯乙烯源液供给，节省购买多套源温控制系统的生产成本；另一方面，通过气路控制组件对多路输送管道进行状态控制，实现多路三氯乙烯源液输送的自动化控制，避免人工来回拆卸或连接气路管线可能引起的安全事故，确保生产安全。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯乙烯 自动 控制系统 | ||
【主权项】：
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