[实用新型]一种自适应浮动载物装置有效
申请号: | 202020946139.6 | 申请日: | 2020-05-28 |
公开(公告)号: | CN212684367U | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 刘克村 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;G01B21/00;G01B21/24 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 于晶晶 |
地址: | 266114 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种自适应浮动载物装置,包括用于载物的浮动台、设于所述浮动台的下部用于调整浮动台位置的浮动件和用于锁紧所述浮动件实现对浮动件定位的锁紧组件,所述浮动台与所述浮动件固定连接。该装置能够通过浮动件对浮动台的位置进行调整,实现浮动台适应晶棒端面,浮动件通过锁紧组件锁紧并定位,实现浮动台位置的固定,从而满足晶棒检晶线和检测同轴度的需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 自适应 浮动 装置 | ||
【主权项】:
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