[实用新型]一种校准晶圆片有效
| 申请号： | 202020233920.9 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN212008893U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 罗捷;林科闯;谢祥政 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种校准晶圆片，在晶圆上具有多组校准图形，每组校准图形包括直通校准单元、短路校准单元和负载校准单元；至少一组负载校准单元中的匹配电阻具有电阻值粗调部和/或电阻值微调部。本实用新型不但能降低量测的校准成本，提升量测产能，而且还能同时提高量测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 校准 晶圆片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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