[发明专利]一种进行自动匹配的测试方法在审
申请号: | 202011635227.5 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112834906A | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 李成霞;成家柏;吴鑫;杨靖;陈巍 | 申请(专利权)人: | 杭州广立微电子股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 江苏坤象律师事务所 32393 | 代理人: | 赵新民 |
地址: | 310012 浙江省杭州市西*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种进行自动匹配的测试方法,包括:步骤S1.获取所有待测晶圆信息,以及第一测试计划;步骤S2.选择预设数量的晶圆进行测试,获取第一测试数据;步骤S3.将所述第一测试数据,及产品的基准文件、产品的模板测试规格文件,作为自动匹配处理的输入读入,进行自动匹配处理生成第二测试计划;步骤S4.选择所有待测晶圆进行测试,获取第二测试数据。该方法实现了测试设备测试数据的补偿,使客户在使用不同厂家的测试设备时自动匹配,实现数据的处理与分析,方便客户的产品使用,有利于降低客户的生产、研发成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 进行 自动 匹配 测试 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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