[发明专利]一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统有效

专利信息
申请号: 202011599395.3 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112763812B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 张嘉伟;张泽磊;刘朝辉;付庚;王闯;王倩 申请(专利权)人: 西安理工大学
主分类号: G01R29/12 分类号: G01R29/12;G01R29/24
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 杨洲
地址: 710048*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统,包括有可视化箱体;可视化箱体内设有试样放置平台,试样放置平台的一端连接有静电测试平台,试样放置平台的另一端连接有放电平台;将样品放置在铜盘电极上,关闭箱体操作口;通过X轴步进电机控制铜盘电极在X轴导轨上移动,试样移动至钼丝的正下方;利用Y1轴步进电机控制Y1轴导轨上的连接件a在Y1轴导轨上移动,对样品进行放电处理;通过X轴步进电机控制铜盘电极在X轴导轨上移动,将试样移动至静电测量棒的下方;通过Y2轴步进电机控制Y2轴导轨,使连接件b带动静电测量棒沿着Y2轴导轨移动,扫描整个试样的表面,将结果上传至上机位;具有测量效率高、测量时间短,结果准确的特点。
搜索关键词: 一种 基于 光学 干涉 原理 静电 扫描 测量 系统
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说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

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