[发明专利]极紫外光产生装置及方法有效
| 申请号： | 202011597091.3 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112764321B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 马修泉;何泓樟;吴寒;王新兵;左都罗;陆培祥 | 申请（专利权）人： | 广东省智能机器人研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 纪婷婧 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种极紫外光产生装置和方法，该装置包括控制器，以及分别连接控制器的沿目标液滴的运动路径依次设置的目标液滴产生器、液滴检测装置、预脉冲激光光源、云雾团检测装置、轨迹调节装置和主脉冲激光光源。上述装置中，配置液滴检测装置以检测目标液滴的存在，反馈给控制器以用于确定主脉冲激光的主脉冲触发时间。同时配置云雾团检测装置获取目标云雾团的监测信号并发送给控制器，以便于控制器求得目标云雾团的运动轨迹。在目标云雾团的运动轨迹与主打靶位置不相交时，控制器控制轨迹调节装置调节目标云雾团的运动轨迹，减小目标云雾团与主脉冲激光的离焦距离，使目标云雾团和主脉冲激光充分作用，有利于提高打靶激光的能量利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 产生 装置 方法 | ||
【主权项】：
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