[发明专利]太阳能电池表面多层钝化方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池表面多层钝化方法，包括以下步骤：步骤S1，提供太阳能电池原始硅片，对原始硅片进行镀膜前的预处理；步骤S2，对硅片正面镀双层氮化硅膜；步骤S3，对硅片背面镀多层组合钝化膜，多层组合钝化膜为氧化硅+氧化铝、氧化铝+氧化硅或者氧化硅+氧化铝+氧化硅的方式；步骤S4，对步骤S３中的硅片退火处理，然后在硅片背面镀第二介质膜；步骤S5，对硅片背面进行激光消融开窗；步骤S6，对硅片正背面进行丝网印刷金属化处理，获得电池片。本发明有效的减少了高温带来的热氧化有害杂质的掺入，同时增加了更好的化学钝化效果，结合氧化铝更强的场钝化效果，进一步减少复合。