[发明专利]一种超近距离金属电极热调相移器有效
| 申请号： | 202011517297.0 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112462534B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 董建绩;韦彦先;周海龙;张新亮 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/00 | 分类号： | G02F1/00;G02F1/01 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 尹丽媛;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于集成光波导调制领域，具体涉及一种超近距离金属电极热调相移器，包括：基底，以及分别设置在基底上的金属热电极和光波导；其中，金属热电极和光波导之间近距离设置，该距离小于600nm；金属热电极的材料为钛、氮化钛、铝、金和/或折射率虚部更大的金属。包括侧向加热和顶面加热两种方案，侧向加热方案中热电极被近距离平行放置在波导侧面，热量通过基底传导至光波导上实现热相移；顶面加热方案中，一根辅助波导置在光波导侧面，热电极置于辅助波导上方，热量通过基底的顶层传导至光波导上实现热相移。本发明利用宇称‑时间对称原理，大幅度缩短了热电极与波导之间的距离，实现了低损耗高速率的热调，而且与CMOS工艺兼容，为标准工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 近距离 金属电极 调相 | ||
【主权项】：
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