[发明专利]一种基于圆二色谱的声波传感器在审
申请号: | 202011484377.0 | 申请日: | 2020-12-16 |
公开(公告)号: | CN112762971A | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 彭彦莉 |
主分类号: | G01D5/58 | 分类号: | G01D5/58;G01D5/62;G01H9/00 |
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地址: | 726206 陕西省商洛*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明属于传感器技术领域,具体涉及一种基于圆二色谱的声波传感器,包括壳体、激光器、探测器、衬底和悬臂梁,所述壳体的一端安装有激光器,所述壳体的另一端安装有探测器,所述激光器和探测器对称分布在壳体的两端,所述壳体内设置有衬底,所述衬底靠近激光器的一端设置有悬臂梁,所述悬臂梁有多个,多个所述悬臂梁均匀分布在衬底上。本发明通过将悬臂梁形状设置成Y形状音叉,可以和声波产生共振,微型悬臂梁在发生振动时变为手性结构,光通过时会产生圆二色谱,圆二色谱受形状变化敏感,因此该传感器具有非常高的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 色谱 声波 传感器 | ||
【主权项】:
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