[发明专利]一种氧化镍电致变色薄膜及其制备方法与应用

摘要

本发明公开了一种氧化镍电致变色薄膜及其制备方法与应用。所述制备方法包括：以共掺杂的MxTyNizO为靶材(其中，M为锂、钠、钾、铷、铯中的至少一种，T为铝、硅、锆中的至少一种)，采用磁控溅射在透明导电基体表面沉积形成薄膜，接着，在空气条件下进行快速热退火处理，获得共掺杂氧化镍电致变色薄膜，该薄膜具有较高的氧化镍(111)择优取向生长以及有均匀分布针孔的光滑紧实的结构，有助于提升薄膜的电致变色响应速度、褪色态透过率、光学调制幅度、电荷容量以及循环稳定性。