[发明专利]一种片上亚波长束缚波导及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202011461216.X 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN112596153B 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 张福平;管志强;徐红星 申请(专利权)人: 武汉大学
主分类号: G02B6/10 分类号: G02B6/10;G02B6/12;G02B6/13
代理公司: 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 代理人: 吴楚
地址: 430072 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明涉及一种片上亚波长束缚光波导,包括衬底和金属纳米结构,所述衬底和金属纳米结构之间设置有高折射率介质层,所述高折射率介质层材料的折射率高于衬底。由于衬底上高折射率介质层的存在,波导更容易耦合进等离激元,采用空气物镜就可激发等离激元,在某些使用场景更加实用,比如需要电场外漏于空气中实现气体检测等。并有可能通过其厚度来调制等离激元的传导行为,可能做成可调制的光开关等光子芯片,为等离激元光芯片等应用领域有积极的推动作用。
搜索关键词: 一种 片上亚 波长 束缚 波导 及其 制备 方法
【主权项】:
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