[发明专利]一种石墨烯薄膜传感器及其制备方法、设备在审
申请号: | 202011456597.2 | 申请日: | 2020-12-13 |
公开(公告)号: | CN112504497A | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 李扬;张彬;李星亮;宋影;韩如锦 | 申请(专利权)人: | 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 |
主分类号: | G01K7/16 | 分类号: | G01K7/16;B82Y15/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100076*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种石墨烯薄膜传感器及制备方法、设备,该传感器从下到上,采用压力将基底、柔性电路板、碳纳米管薄膜以及导热绝缘陶瓷片一体封装,改变了传统传感器和机械结构分离式设计的方式,占用体积更小;以及该传感器采用灵敏度很高的碳纳米管薄膜作为传感器的敏感材料,柔性电路板作为引线方式,导热绝缘陶瓷作为封装材料,相比一般温度传感器灵敏度更高。此外,将传感器大部分集成设计在结构件表层,除了不需加装专用传感器实现减重,还可以减小体积,结构智能化强度设计等方法减轻飞行器重量,这对于飞行器减重减小体积有着重要的贡献。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 薄膜 传感器 及其 制备 方法 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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