[发明专利]基板支架在审
| 申请号： | 202011440219.5 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112981505A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 宫本松太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D17/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;王海奇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基板支架，在基板支架中在抑制对基板的负荷的同时按压密封件。基板支架具备：接点组件；第一板，在与上述接点组件之间夹持基板；至少一个第一销，固定于上述接点组件，在上述基板的外侧朝向上述第一板侧延伸，且具有被卡定部；卡定部件，相对于上述第一板配置在与上述接点组件相反侧，能够位移至相对于上述第一销的上述被卡定部的卡定状态和非卡定状态；以及至少一个第一施压部件，沿着上述基板的外周部，设置在上述卡定部件与上述第一板之间以使上述卡定部件与上述第一板相互分离，在上述卡定状态下在上述卡定部件与上述第一板之间被压缩，朝向上述接点组件侧对上述第一板进行施压。 | ||
| 搜索关键词： | 支架 | ||
【主权项】：
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