[发明专利]改善声表面波滤波器膜层界面结合强度的方法在审
| 申请号： | 202011412000.4 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112564661A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 翁志坤;许欣;宋晓辉 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/10 | 分类号： | H03H3/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 任曼怡;张鑫 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了改善声表面波滤波器膜层界面结合强度的方法。具体而言，本发明描述了一种用于改善声表面波滤波器膜层界面结合强度的方法，所述方法包括：在压电材料基板表面进行激光微孔化处理，以在所述压电材料基板表面形成一系列盲孔；以及在经激光微孔化处理的压电材料基板表面镀金属电极。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 表面波 滤波器 界面 结合 强度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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