[发明专利]一种晶圆加工用湿法清洗设备

摘要

本发明公开了一种晶圆加工用湿法清洗设备，其结构设有撑台、液接箱、操控台、清洗箱、量调杆、清洗装置，液体冲压转球，液体冲流力与外接板的产生相互作用力，对液体有一定的缓冲作用，在外接板的作用下，液体容易被击拍而产生分股，而使液体顺着导块向散流腔中流入，在伸缩架与助力簧的伸缩和弹力作用下，弧摆块做铰接起伏摆动，对液体产生引流导向作用，使得液体能均匀分散流入散流腔中，瓣转块受冲流力不同而弧状摆动，对撑接杆产生一定的挤压力，使其推动着铰滑轮滑行，从而辅助瓣转块以上端点为固定铰轴点进行更大弧度的摇摆，继而驱动摆淋块进行循环摆向便于液体顺着摆淋块的倾斜引流而能对下方的晶圆表面有更大范围的清洗冲淋。