[发明专利]一种交叉扫描测量方法及其测量光栅和应用有效
| 申请号： | 202011292073.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112461138B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 李斌斌;王伟军;朱旭勇 | 申请（专利权）人： | 苏州迈之升电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/06;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 汤俊明 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及物体测量方法，更具体地，本发明涉及一种交叉扫描测量方法及其测量光栅和应用。包括：光栅设置；x‑y坐标轴建立；平行扫描；D点交叉扫描；D点坐标计算。本发明提供一种交叉扫描方法，可通过使用一套光栅进行平行扫描和交叉扫描的方式，可获得物体的高度和宽度信息，相比于目前一套光栅只能测量一个方向的尺寸，提高了测量效率和光栅的利用率；在进行D点和A点坐标计算时，通过使用两条直线交点的坐标作为D点坐标，相比于平行扫描，提高了D点纵坐标的精度，从而提高了物体高度的测量精度。本发明提供了D点和A点坐标的公式，可通过光栅条纹编号和光栅条纹纵坐标快速确认D点和A点坐标，测量方法简单，可实现快速测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 交叉 扫描 测量方法 及其 测量 光栅 应用 | ||
【主权项】：
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