[发明专利]一种晶圆检查与清洁设备在审
| 申请号： | 202011272273.3 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112570306A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 李光 | 申请（专利权）人： | 马达西奇（苏州）智能装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36;B08B5/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 苏州尚为知识产权代理事务所(普通合伙) 32483 | 代理人： | 陈钢 |
| 地址： | 215131 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆检查与清洁设备，包括内部气压大于外界气压的设备壳体、安装在设备壳体内部用于放置晶圆盒的工作台、设置在工作台下方的顶升错位组件及顶升旋转组件、设置在工作台上方用于与顶升错位组件配合实现检查工作的识别相机、设置在工作台上方用于与顶升旋转组件配合完成清洁工作的清洁器；所述工作台放置晶圆盒的正下方设置有空腔，所述顶升错位组件及顶升旋转组件下方设置有驱动其分别对应运动至空腔下方的横行模组，并实现上升贯穿空腔与晶圆下端相抵；本发明用于实现晶圆的检查与清洁，减少晶圆因搬运破损或排序不对导致后续事故发生，工作过程中可以减少人工，增加效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检查 清洁 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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