[发明专利]一种耐砂蚀雨蚀金刚石红外窗口及其制备方法有效
申请号: | 202011261303.0 | 申请日: | 2020-11-12 |
公开(公告)号: | CN112458429B | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 郭风祥;盖志刚;徐珊珊;王宜豹;陈志刚;盖志鹏;姜辛 | 申请(专利权)人: | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/01;C23C16/02;C23C16/56;G02B1/10;G02B1/118;G02B1/14;G02B1/18;G02B1/12 |
代理公司: | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人: | 付秀颖 |
地址: | 266200 山东省青岛市鳌山卫街*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种耐砂蚀雨蚀金刚石红外窗口制造方法,包括金刚石窗口基体及其表面经表面处理得到的微纳结构;制造方法包括:基底植晶、多热丝薄膜生长、金刚石基体分离、表面结构制备等步骤。其优点是,红外透光率高,耐沙尘、雨水侵蚀,机械性能优异,抗热冲击性能好。 | ||
搜索关键词: | 一种 耐砂蚀雨蚀 金刚石 红外 窗口 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的