[发明专利]一种内部加强的多腔石墨坩埚在审
申请号: | 202011214969.0 | 申请日: | 2020-11-04 |
公开(公告)号: | CN112325637A | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 杨九福 | 申请(专利权)人: | 汨罗市福缘新材料有限公司 |
主分类号: | F27B14/00 | 分类号: | F27B14/00;F27B14/12;F27B14/10;F27B17/00 |
代理公司: | 长沙德恒三权知识产权代理事务所(普通合伙) 43229 | 代理人: | 葛艳 |
地址: | 414000 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种内部加强的多腔石墨坩埚,包括圆柱形的坩埚体以及上表面带气孔的坩埚盖,坩埚体顶面上设置有带若干焙烧腔的圆形盲槽,每个焙烧腔的内壁上成型有至少一个环形凹槽,环形凹槽内成型有氮化硅陶瓷环,氮化硅陶瓷环的内表面与焙烧腔的内壁处于同一平面,且在该平面上成型有若干竖向设置导气槽,该导气槽上部连接坩埚盖的中空夹层,而在坩埚盖在该夹层中填充有高导热孔隙填充物;而坩埚体的中心位置设置有通槽,并在该通槽下部设置有氮化硅加强座。本发明的石墨坩埚结构紧凑、操作方便,可保证多腔石墨坩埚在连续焙烧过程中的结构稳定性,减少热形变,提高石墨坩埚的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 内部 加强 石墨 坩埚 | ||
【主权项】:
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