[发明专利]用于球面微结构的全息飞秒激光分层并行加工方法及系统在审
申请号: | 202011184019.8 | 申请日: | 2020-10-29 |
公开(公告)号: | CN112388158A | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 孙树峰;王津;王萍萍;张丰云;王茜;邵晶 | 申请(专利权)人: | 青岛理工大学 |
主分类号: | B23K26/0622 | 分类号: | B23K26/0622;B23K26/046;B23K26/064;B23K26/70 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 陈晓敏 |
地址: | 266520 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及用于球面微结构的全息飞秒分层并行加工方法及系统,包括以下步骤:根据工件表面待加工微结构阵列图案,确定工件表面不同层的微结构所在的位置及深度信息,生成多层微结构对应的坐标文件;根据生成的坐标文件使用分数阶傅里叶变换进行多层微结构对应的全息图的迭代计算,获得满足设定要求的全息图;利用得到的多层微结构对应的全息图,对飞秒激光光束进行调制,利用调制后的飞秒激光光束对工件进行加工,本发明的方法无需设置高精度工作台。 | ||
搜索关键词: | 用于 球面 微结构 全息 激光 分层 并行 加工 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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