[发明专利]一种硅基OLED微显示器工艺产品及其制备方法在审
| 申请号： | 202011122340.3 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112242498A | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 由振琪;孙云翔;曹贺;刘晓佳 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 11642 | 代理人： | 王肖林 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市长江大桥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基OLED微显示器单色工艺产品及其制备方法，包括：得到已开PAD区的晶圆；在所述晶圆的PAD区上制作保护涂层；在晶圆上按照预设图案制作阳极，其中PAD区上存在阳极；在晶圆上制作像素界定层，其中像素界定层被配置为与阳极处于同一层且覆盖阳极的空隙；在阳极和像素界定层的上制作有机发光层和封装层，其中PAD区上存在封装层；对PAD区上存在的封装层和阳极进行刻蚀；以及除去PAD区上制作的保护涂层得到OLED微显示器单色工艺产品。该硅基OLED微显示器单色工艺产品及其制备方法可以防止PAD区在生产过程中被腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 显示器 工艺 产品 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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