[发明专利]一种稳定型晶圆收纳装置

摘要

本发明涉及一种稳定型晶圆收纳装置，包括箱体和门体，所述箱体的形状为长方体，所述箱体的一侧设有开口，所述门体位于箱体的设有开口的一侧，所述门体安装在箱体上且与开口密封连接，所述箱体内设有收纳机构和除尘机构，所述收纳机构包括固定管、支撑板、吸附组件和辅助组件，所述收纳机构包括固定管、支撑板、吸附组件和辅助组件，所述吸附组件包括连接管、磁铁盘、第一弹簧、限位块和安装孔，所述辅助组件包括安装孔、推杆、第二弹簧、齿条、齿轮、转动轴、第一轴承、丝杆、滑块、移动板、气囊和两个导向单元，该稳定型晶圆收纳装置通过收纳机构实现了收纳晶圆的功能，不仅如此，还通过除尘机构实现了除尘的功能。