[发明专利]一种纳米结构、其制备方法、显示面板及显示装置在审
| 申请号： | 202011096639.6 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112241105A | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 邓永 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G02F1/1335;G02B5/30 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 徐世俊 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种纳米结构、其制备方法及显示面板，制备方法包括以下步骤：提供一基底；在基底上形成金属层；在金属层上形成压印胶；提供一压印模板；将压印模板和所述基底对应，在压印胶上形成凸部和凹部相间的预设图形；移除凹部的压印胶，暴露出部分金属层；对凸部的压印胶进行表面硬化处理；蚀刻暴露出的金属层；移除剩余的压印胶。该方法提高了压印模的抗蚀刻能力，以防止在蚀刻金属层时造成压印胶的损伤，提高纳米结构的制作精度和性能。该方法易于实施，适于量产。由该方法制备的纳米结构的凸起，凸起的高度的相对偏差小于10％。该纳米结构可以作为显示面板中的线栅偏光片，提高了显示面板的显示品质和良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 结构 制备 方法 显示 面板 显示装置 | ||
【主权项】：
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