[发明专利]一种柔性透明电极及其制备方法有效
| 申请号： | 202011091277.1 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112233833B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 孙珲;刘学男;宫建红 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01B13/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 谢晓华 |
| 地址： | 250100 *** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种柔性透明电极及其制备方法，属于透明电极技术领域。该柔性透明电极是通过射频磁控溅射方法在柔性可弯曲的基底上由下至上依次层叠有AZO/Ag/AZO/Ag/AZO多层薄膜形成。本发明将具有良好的导电性和延展性、对可见光的低吸收性的Ag作为中间金属层嵌入AZO薄膜中，得到具有AZO/Ag/AZO/Ag/AZO多层复合薄膜，Ag层具有优异的导电性，使得复合电极电阻率得到显著的降低，优化了其光电学性能和机械稳定性；同时嵌入有连续Ag层的AZO薄膜在弯曲状态下的电学稳定性大大提高：即使弯曲角度达到172度，AZO/Ag/AZO/Ag/AZO多层薄膜的电阻也几乎保持不变。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 透明 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东大学，未经山东大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011091277.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
