[发明专利]晶体的生长装置及生长方法有效

专利信息
申请号: 202011079436.6 申请日: 2020-10-10
公开(公告)号: CN112281210B 公开(公告)日: 2022-05-17
发明(设计)人: 刘奇;黄末;陈翼;冯厚坤;冯参 申请(专利权)人: 徐州鑫晶半导体科技有限公司
主分类号: C30B15/26 分类号: C30B15/26;C30B15/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 霍文娟
地址: 221000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请提供了一种晶体的生长装置及生长方法,包括炉体、坩埚、冷却套及导流筒,冷却套设在炉体的内部并对晶体进行冷却,导流筒设置在冷却套的外围,导流筒包括上导流筒部和下导流筒部,上导流筒部呈筒体状且环绕冷却套设置,下导流筒部设在上导流筒部的下端且位于冷却套的下侧,下导流筒部为一个中空的上大下小圆台结构,圆台结构内周壁上形成一个凹槽,凹槽的顶部贯穿圆台结构,冷却套沿着坩埚的轴向移动。该生长装置中,冷却套沿着坩埚的轴向移动,影响到炉体内热场分布,可微调固液界面处温度梯度,从而可拉制一定宽度无缺陷生长区域的晶体,解决了现有技术中固液界面的温度梯度较难控制导致拉制出缺陷较多生长区域的晶体。
搜索关键词: 晶体 生长 装置 方法
【主权项】:
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  • 欧世乐;王克;秦文 - 霍克视觉科技(苏州)有限公司
  • 2022-07-27 - 2022-11-15 - C30B15/26
  • 本实用新型涉及一种单晶炉液位及直径测量装置,相机,一对主反射镜及一对次反射镜;相机具有视野端,并朝向被测物所在一侧;一对主反射镜设置在相机与被测物之间,端面之间形成夹角;一对次反射镜分设在一对主反射镜两侧,使相机能够通过主反射镜及次反射镜获取被测物两侧视野的图像;本实用新型采用相机、主反射镜与次反射镜的组合,构建出一对虚拟相机的存在,使得采用单相机的情况下,达到双相机的测量效果,能够获取真实测量数据,但相较于双相机又不会带来成本的增加。
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