[发明专利]一种alpha相氧化镓薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 202011070429.X | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN112126897B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 咸冯林;徐林华;杨明珠;匡文剑;郑改革;李金花;曹兆楼;裴世鑫 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 | 代理人： | 张立荣;乔炜 |
| 地址： | 210044 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
一种alpha相氧化镓薄膜的制备方法，包括如下步骤：对m面蓝宝石衬底进行清洗，吹干后放入衬底托盘；将衬底载入真空室，待真空室的真空度达到3×10‑6 Pa后，通入高纯氩气，气体流量控制在40 sccm，调节真空室真空度为1Pa；对高纯Ga |
||
| 搜索关键词： | 一种 alpha 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京信息工程大学，未经南京信息工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011070429.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种足式桌面宠物机器人自主导航方法
- 下一篇：一种公共场所智能监控装置
- 同类专利
- 专利分类
