[发明专利]一种三维分层多级TiO2

摘要

本发明公开了一种三维分层多级TiO2纳米花NH3敏传感器及其制备方法，克服现有制备技术中对设备和原材料要求高、工艺复杂且能耗高的问题，解决TiO2厚膜气敏材料导致的气敏传感器稳定性、一致性差的问题。本发明的技术方案为：一种三维分层多级TiO2纳米花NH3敏传感器的制备方法，利用水溶液法在银叉指电极上原位生长三维分层多级TiO2纳米花薄膜，制备得到一种三维分层多级TiO2纳米花NH3敏传感器。本发明使用原位生长的方法，使得TiO2气敏材料与基底之间具有强结合力，保证气敏元件的长期稳定性和一致性，并且为气体吸附提供了大量的活性位点和吸附和脱附的扩散通道，能大幅度提升TiO2对NH3的气敏特性。