[发明专利]带电粒子束照射装置和控制方法在审

专利信息
申请号: 202010985029.5 申请日: 2020-09-18
公开(公告)号: CN112635277A 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 麻生拓笃;满欣;佐藤诚;麻畑达也 申请(专利权)人: 日本株式会社日立高新技术科学
主分类号: H01J37/147 分类号: H01J37/147;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 黄志坚;崔成哲
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供带电粒子束照射装置和控制方法,能够缩短观察多层试样中包含的多个观察对象层各自的物质或构造所需的时间。带电粒子束照射装置具备:会聚离子束镜筒,其对多层试样照射会聚离子束;电子束镜筒,其对多层试样照射电子束;电子检测器,其检测从多层试样产生的二次电子或反射电子;像形成部,其形成基于从电子检测器输出的信号的观察像;以及控制部,其控制会聚离子束镜筒来反复进行如下露出控制:利用会聚离子束朝向层叠方向使多层试样的截面露出,控制部在反复进行露出控制的过程中,每检测出观察对象层在多层试样的截面上露出时,控制电子束镜筒来进行如下观察控制:照射电子束而使像形成部形成多层试样的截面的观察像。
搜索关键词: 带电 粒子束 照射 装置 控制 方法
【主权项】:
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  • 带电粒子评估工具、检查方法-202180026727.5
  • M·J-J·维兰德 - ASML荷兰有限公司
  • 2021-04-04 - 2022-11-22 - H01J37/147
  • 一种带电粒子工具,包括:聚光透镜阵列,其被配置为沿着相应的波束路径将带电粒子的波束分离成第一多个子波束,并将每个子波束聚焦到相应的中间焦点;物镜的阵列,每个物镜被配置为将多个带电粒子波束中的一个带电粒子波束投射到样品上;校正器,其包括细长电极的阵列,该细长电极基本上垂直于第一多个子波束的波束路径延伸并且被布置成使得第二多个子波束在一对细长电极之间传播,该第二多个子波束是第一多个子波束的子集;以及电源,其被配置为在一对细长电极之间施加电位差,以使第二多个子波束偏转期望的量。
  • 具有偏转单元的粒子束装置-202210386325.2
  • D.普赖克斯扎斯;M.W.法纳夫 - 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
  • 2022-04-13 - 2022-11-15 - H01J37/147
  • 本发明涉及一种用于对物体进行成像、分析和/或处理的粒子束装置。该粒子束装置包括:第一粒子束发生器,其中该第一粒子束发生器具有第一发生器束轴,其中该粒子束装置的光轴和该第一发生器束轴相同;第二粒子束发生器,其中该第二粒子束发生器具有第二发生器束轴,其中该光轴和该第二发生器束轴成不同于0°和180°的某角度布置;偏转单元,其中该偏转单元具有第一开口和不同于该第一开口的第二开口,其中该光轴延伸穿过该第一开口,其中该第二发生器束轴延伸穿过该第二开口;用于将该第一粒子束或该第二粒子束聚焦到该物体上的物镜,其中该光轴延伸穿过该物镜;以及用于检测相互作用粒子和/或相互作用辐射的至少一个检测器。
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