[发明专利]一种二维超薄自支撑薄膜、其转移方法及其物理性质调控方法在审
| 申请号： | 202010964790.0 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN112047298A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 聂越峰;顾佳晖 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82B1/00;B82Y30/00;B82Y40/00;C01G23/00 |
| 代理公司： | 江苏瑞途律师事务所 32346 | 代理人： | 吴雪健 |
| 地址： | 210046 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及自支撑氧化物薄膜转移技术领域，特别涉及一种二维超薄自支撑薄膜、其转移方法及其物理性质调控方法。本发明利用环氧树脂转移厚度为0.8‑6nm的二维超薄薄膜，配合牺牲层，将氧化物薄膜转移到柔性目标基底上，可获得原子级平整的单晶氧化物薄膜；通过对柔性目标基底进行拉伸可实现氧化物薄膜的应力调控，获得其他方法难以实现的巨大应力值；同时，在柔性目标基底背面覆盖导电石墨层，可以有效施加电场，配合压电力显微镜、光学测试平台等可实现铁电畴结构、能隙及其他物性的测量与调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 超薄 支撑 薄膜 转移 方法 及其 物理性质 调控 | ||
【主权项】：
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