[发明专利]带电粒子束装置在审
| 申请号： | 202010960020.9 | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN112233960A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 约翰·布鲁尔 | 申请（专利权）人： | ICT集成电路测试股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/153;H01J37/145;H01J37/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 德国巴*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述一种用于用初级带电粒子小束阵列对样本进行检查的带电粒子束装置。带电粒子束装置包括：带电粒子束源，用于产生初级带电粒子束；多孔径板，具有至少两个开口以产生带电粒子小束阵列，带电粒子小束阵列至少具有在样本上具有第一分辨率的第一小束和在样本上具有第二分辨率的第二小束；像差校正元件，用于校正旋转对称带电粒子透镜的球差和色差中的至少一个；和物镜组件，用于将初级带电粒子小束阵列的每个初级带电粒子小束聚焦到样本上的单独位置上。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
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- 姚林松;陈丽祥;黄川;李雪松 - 威科赛乐微电子股份有限公司
- 2022-09-06 - 2023-03-03 - H01J37/28
- 本实用新型涉及半导体制造领域，公开了一种扫描电镜装置，包括：电子枪，设置在电子真空腔室内用于产生检测分析需要的电子；扫描电镜，设置在电子枪的电子出口处用于调整电子的活动轨迹；还包括样品台，用于放置需要进行检测分析的晶圆，扫描电镜包括第一目镜腔室和第二目镜腔室，第一目镜腔室和第二目镜腔室内分别设置有调节电压以使得穿过第一目镜腔室和第二目镜腔室的电子能够轰击到样品台上。本申请采用电子轰击晶圆表面，通过两次目镜调整精度，保证电子束能够精确轰击到晶圆表面，看清表面的结构。也可以接EDX系统进行元素分析。保证了晶圆的完整性，使得晶圆可以继续使用。
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