[发明专利]基于锗纳米片的工作电极及其制备方法和生物光电探测器有效
申请号: | 202010906493.0 | 申请日: | 2020-09-01 |
公开(公告)号: | CN111987174B | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 康建龙;张家宜 | 申请(专利权)人: | 深圳万物传感科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/101;H01L31/18 |
代理公司: | 广州专才专利代理事务所(普通合伙) 44679 | 代理人: | 林玲 |
地址: | 518042 广东省深圳市福田区沙头街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种基于锗纳米片的工作电极,包括基底和设置于所述基底表面的锗纳米片层,所述锗纳米片层中的锗纳米片的横向尺寸范围为50~500nm,所述锗纳米片层中的锗纳米片的厚度小于等于20nm。本发明基于锗纳米片的工作电极属于首次探索利用锗纳米片的光电响应特征制备的工作电极,丰富了现有工作电极的种类。锗纳米片具有极高的环境稳定性,采用锗纳米片制得的工作电极也同样具有良好的环境稳定性,并且锗纳米片还具有较宽的光响应波长,对紫外、可见以及红外范围内的混合或单一光均具有良好的光电响应。本发明还提供了基于锗纳米片的制备方法和生物光电探测器。 | ||
搜索关键词: | 基于 纳米 工作 电极 及其 制备 方法 生物 光电 探测器 | ||
【主权项】:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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