[发明专利]一种SiC板超声电解复合磨削方法在审

专利信息
申请号: 202010853983.9 申请日: 2020-08-24
公开(公告)号: CN112059337A 公开(公告)日: 2020-12-11
发明(设计)人: 张振宇;廖龙兴;崔祥祥;刘璐;刘杰;李玉彪 申请(专利权)人: 大连理工大学
主分类号: B23H5/04 分类号: B23H5/04;B23H11/00
代理公司: 大连理工大学专利中心 21200 代理人: 隋秀文;温福雪
地址: 116024 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明属于机械制造技术领域,公开了一种SiC板超声电解复合磨削方法,该磨削方法包括粗磨和精磨两个步骤,通过研制新型软砂轮,结合超声电解的复合磨削方式,代替传统的磨削工艺,实现SiC板表面的高效超低损伤超精密加工。所述的软砂轮磨削部分由磨料、填充料和结合剂通过固化成型制造而成,其中,磨粒体积占比为25‑40%,填充料体积占比为10‑20%,其余为结合剂。与传统的磨削方法相比,本发明可实现SiC板的高效、超低损伤加工,可有效降低SiC板在磨削过程中的碎片率,提高成品率。
搜索关键词: 一种 sic 超声 电解 复合 磨削 方法
【主权项】:
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