[发明专利]一种拉晶尾部控制方法及系统、计算机存储介质有效
申请号: | 202010746893.X | 申请日: | 2020-07-29 |
公开(公告)号: | CN111910245B | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 李宗飞;钱龙;谭明科;白喜军;刘永生 | 申请(专利权)人: | 华坪隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/22 | 分类号: | C30B15/22 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 674800 云南省丽*** | 国省代码: | 云南;53 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开一种拉晶尾部控制方法及系统、计算机存储介质,涉及晶体生长技术领域,以实现拉晶尾部工艺自动化,提高生长晶棒的品质。该拉晶尾部控制方法包括:接收当前晶段生长关联参数和当前工步关联参数;根据当前工步关联参数,确定当前生长晶段的晶段段数;根据晶段段数从预设关系中确定当前晶段对应的目标生长关联参数;预设关系为各个晶段的目标生长关联参数与晶段段数的对应关系;确定当前晶段生长关联参数满足目标生长关联参数的情况下,若晶段段数小于预设段数,控制拉晶设备进行当前晶段收尾作业;若晶段段数等于预设段数,控制拉晶设备进行停炉作业。所述系统用于执行所述拉晶尾部控制方法。本发明提供的拉晶尾部控制方法用于晶体生长。 | ||
搜索关键词: | 一种 尾部 控制 方法 系统 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华坪隆基硅材料有限公司,未经华坪隆基硅材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010746893.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。