[发明专利]一种拉晶尾部控制方法及系统、计算机存储介质有效
| 申请号： | 202010746893.X | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111910245B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李宗飞;钱龙;谭明科;白喜军;刘永生 | 申请（专利权）人： | 华坪隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 674800 云南省丽*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开一种拉晶尾部控制方法及系统、计算机存储介质，涉及晶体生长技术领域，以实现拉晶尾部工艺自动化，提高生长晶棒的品质。该拉晶尾部控制方法包括：接收当前晶段生长关联参数和当前工步关联参数；根据当前工步关联参数，确定当前生长晶段的晶段段数；根据晶段段数从预设关系中确定当前晶段对应的目标生长关联参数；预设关系为各个晶段的目标生长关联参数与晶段段数的对应关系；确定当前晶段生长关联参数满足目标生长关联参数的情况下，若晶段段数小于预设段数，控制拉晶设备进行当前晶段收尾作业；若晶段段数等于预设段数，控制拉晶设备进行停炉作业。所述系统用于执行所述拉晶尾部控制方法。本发明提供的拉晶尾部控制方法用于晶体生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尾部 控制 方法 系统 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
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