[发明专利]一种碳酸钙/二氧化硅核壳型纳米复合磨料及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202010722551.4 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111925731A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 刘卫丽;冯道欢;宋志棠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海新安纳电子科技有限公司;浙江新创纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 魏峯;黄志达 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碳酸钙/二氧化硅核壳型纳米复合磨料及其制备方法和应用，所述复合磨料以碳酸钙纳米颗粒为核，二氧化硅颗粒为壳。本发明具有独特的结构和性能，相比纯硅溶胶而言，对硅片、氧化硅片、二氧化硅层、氮化硅层等介质层材料的抛光速率更快；相比氧化铝磨料而言，对介质层材料的抛光后的表面质量更好，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳酸钙 二氧化硅 核壳型 纳米 复合 磨料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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