[发明专利]用于基底嵌入异物表面分析的样品制备方法以及检测基底嵌入的异物的方法在审

专利信息
申请号: 202010626298.2 申请日: 2020-07-02
公开(公告)号: CN111650019A 公开(公告)日: 2020-09-11
发明(设计)人: 朱雷;潘京方;陈永鸿;高智豪;纪約义;刘兵海;梁伟德;华佑南;李晓旻 申请(专利权)人: 胜科纳米(苏州)有限公司
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28
代理公司: 北京崇智专利代理事务所(普通合伙) 11605 代理人: 赵丽娜
地址: 215123 江苏省苏州市工业园*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及材料样品检测技术领域,尤其涉及用于基底嵌入异物表面分析的样品制备方法以及检测基底嵌入的异物的方法。用于基底嵌入异物表面分析的样品制备方法,包括以下步骤:(a)对待测样品中的异物定位后进行研磨,至露出嵌入的异物,得到目标区域;(b)对所述目标区域镀保护层;(c)根据露出的异物采用聚焦离子束深入切割得到含有露出异物面的检测样品。本发明通过制样方法的改变,使用物理研磨,加上离子束精确切割出部分或整个异物,能确保制得的样品含有异物本身。表面分析测试(例如FTIR)再去除基底材料干扰,得到异物的种类或名称,确保分析结果的准确性和可靠性。
搜索关键词: 用于 基底 嵌入 异物 表面 分析 样品 制备 方法 以及 检测
【主权项】:
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