[发明专利]一种非制冷双色红外薄膜型探测器及制备方法在审
| 申请号： | 202010625054.2 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111739973A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 黄志明;胡涛;张志博;吴敬;马万里;崔壮壮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01L31/101 | 分类号： | H01L31/101;H01L31/0216;H01L31/0203;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非制冷双色红外薄膜型探测器及制备方法，所述探测器采用中波和长波的双探测元模式，由布拉格反射镜膜系，锰钴镍氧敏感元薄膜，氧化铝衬底组成。通过精确控制布拉格反射镜膜系结构，探测器可以有效同步采集目标在3‑5微米和8‑14微米两个大气窗口下的红外光谱强度，并能对两波段的光谱进行对比，利用光谱特性的差异，比较容易的区分目标、背景、红外诱饵，达到提取真实目标的效果、提升红外探测识别能力，降低虚警率的目的。本发明突破了非制冷、可宽温区工作(‑40—+60℃)、可片上集成的双色红外探测等关键技术，未来可应用于目标探测识别、热成像、导航辅助和夜视等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制冷 红外 薄膜 探测器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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