[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202010623055.3 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN112087696B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 游振江;林育菁 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 温剑;王迎 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括设置在衬底上的支撑载体和设置在支撑载体上的防护膜；其中，在衬底上还设置有限位支撑载体和防护膜的锚定件。利用上述发明能够通过锚定件防止微型麦克风防尘装置的功能结构件在制作过程中从衬底上脱落，可提高产品的生产效率及质量。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 麦克风 防尘 装置 mems | ||
【主权项】：
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