[发明专利]一种基于旋转载台的缺陷检测方法及装置有效
| 申请号： | 202010595305.7 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111707670B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 邓怀波;梁晓捷;高书伟;康强强 | 申请（专利权）人： | 武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/956 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 张英 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于旋转载台的缺陷检测方法及装置，方法包括：旋转载台带动检测对象作圆周运动；线扫相机位于旋转载台上方且成像方向垂直于圆周运动方向；线扫相机获得检测对象的线扫图像；基于线扫图像进行缺陷检测，获得缺陷信息。本发明使用线扫相机取样搭配频闪光源，在扫描过程中会依次在频闪明场与频闪暗场光照明下的图像，并对旋转载台上采集的线扫图像进行畸变的校正，将校正后的图像进行缺陷检测，输出缺陷特征信息。从而解决了现有需要重复扫描或者增加光学系统的不足问题，同时获得一种更加智能化、精度更高的缺陷检测方法及装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 旋转 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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