[发明专利]一种钽酸锂薄膜波导声光调制器有效
| 申请号： | 202010570977.2 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111708188B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 温旭杰;王少葳;华平壤;宋伟;崔坤;卢明达;徐佳俊;王旭 | 申请（专利权）人： | 中电科技德清华莹电子有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/125 | 分类号： | G02F1/125;G02F1/00 |
| 代理公司： | 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230 | 代理人： | 郭薇 |
| 地址： | 313000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及声光调制器技术领域，尤其是一种钽酸锂薄膜波导声光调制器，由压电材料、光波导和压电换能器构成，所述光波导为LT薄膜光波导，所述压电换能器为分离式叉指换能器，LT薄膜光波导设置在压电材料上，分离式叉指换能器设置在LT薄膜光波导上，本发明采用Y42‑LNOT作为初始材料，使用VPPE技术制备了高质量的LT薄膜光波导，并充分利用材料优良的声光特性进一步制作出了高Q值、高调制效率、低损耗的LT薄膜波导声光调制器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钽酸锂 薄膜 波导 声光 调制器 | ||
【主权项】：
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