[发明专利]镀覆装置在审
| 申请号： | 202010533757.2 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN112080781A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 平尾智则 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/02 | 分类号： | C25D17/02;C25D17/06;C25D7/12;C25D21/12 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在基板的附近处调节基板上的电位分布的遮蔽板。根据一实施方式，提供一种用于对基板进行镀覆处理的镀覆装置，该镀覆装置具有：基板保持架，该基板保持架用于保持基板；遮蔽板，该遮蔽板与所述基板保持架相邻配置；以及移动机构，该移动机构用于使所述遮蔽板向靠近所述基板保持架的方向以及远离所述基板保持架的方向移动，所述遮蔽板构成为，能够通过所述移动机构来向所述基板保持架侧移动，从而与所述基板保持架接触。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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